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신진연구자 소개(2026년 11월호)

10시간 전
2분 분량

변진환 Jinhwan Byeon

국립군산대학교 첨단과학기술학부 소재화학전공, 조교수 

■ GIST 물리학과, 학사(2010.3-2015.2) 

■ GIST 신소재공학부, 석사 (2015.3-2017.2, 지도교수: 이광희) 

■ GIST 화학과, 박사 (2017.9-2023.8, 지도교수: 홍석원) 

■ GIST 화학과, 박사후 연구원 

(2023.9-2024.4, 지도교수: 홍석원) 

■ KU Leuven / 벨기에 플랜더스 연구재단(FWO), 박사후 연구원(2024.6-2026.8, 

지도교수: Rob Ameloot) 

■ 국립군산대학교 첨단과학기술학부 소재화학전공, 조교수(2026.9-현재) 


소개글 

변진환 교수는 원자·분자 수준에서 정밀 제어가 가능한 나노구조 소재와 차세대 반도체 공정 소재를 연구하고 있다. 특히 금속–유기 유리(metal–organic glass, MOG)와 기능성 유기금속 화합물을 기반으로 EUV 및 전자선 노광용 포토레지스트를 개발하고, 건식 증착과 건식 현상을 활용한 차세대 미세패턴 형성 공정을 연구하고 있다. 아울러 XPS, NEXAFS, GIWAXS 등의 분석 기법과 이론계산을 결합하여 광자와 전자에 의해 유도되는 소재의 구조 변화와 화학반응의 원리를 규명하고 있다. 현재는 화학기상증착(CVD)을 이용해 MOG를 비롯한 금속–유기 기능성 박막을 정밀 합성하고, 이들의 구조와 반응성을 분석하여 나노패턴 응용으로 연결하는 연구를 수행하고 있다. 향후에는 이러한 기상화학 연구를 광유도(photoinduced) ALD/CVD 공정으로 확장하여, 빛을 이용한 전구체 및 표면 반응 제어와 저온·선택적 박막 형성의 가능성을 탐색하고자 한다. 궁극적으로는 분자 수준에서 소재와 계면 반응을 제어하는 원리를 확립하고, 이를 차세대 반도체 공정기술로 확장하는 것을 목표로 한다.



주요연구분야

건식 극자외선 포토레지스트(Dry Extreme Ultraviolet (EUV) Photoresists) 

• 금속–유기 유리 및 기능성 박막(Metal–Organic Glasses (MOGs) and Functional Thin Films) 

• ALD/CVD 전구체 설계 및 합성(Design and Synthesis of ALD/CVD Precursors) 

• 광유도 ALD/CVD 공정 및 반응화학(Photoinduced ALD/CVD Processes and Reaction Chemistry)



대표논문

  1. Kim, D.†; Byeon, J.†; Ahn, J.†; Kim, S.; Moon, I.-U.; Ryu, H.; Oh, D. S.; Yoon, Y. H.; Jee, H.-G.; Hwang, C.-C.; Hong, S. Etchant-Free Dry-Developable Extreme Ultraviolet Photoresist Materials Utilizing N-Heterocyclic Carbene–Metal Complexes. Small 2025, 21, e2407966.(†Co-first author) 

  2. Byeon, J.†; Kim, D.†; Kim, S.†; Ahn, J.; Oh, D. S.; Yoon, Y. H.; Jee, H.-G.; Kim, Y.; Hwang, C.-C.; Hong, S. Patterning of Metal Acetylacetonate Complex via Extreme-Ultraviolet Light-Induced Chemical Reaction and Straightforward Thermal Development Process. Mater. Today Chem. 2025, 43, 102474.(†Co-first author) 

  3. Ko, J.†; Byeon, J.†; Kim, D.†; Kim, J. H.; Cho, Y. H.; Choi, J.; Hong, S.; Yoo, S. J. Addressing Intrinsic Limitations of Aqueous Electric Double-Layer Capacitors with Designer Redox-Active Deep Eutectic Solvent Electrolytes. ACS Appl. Energy Mater. 2024, 7, 850.(†Co-first author) 

  4. Byeon, J.†; Ko, J.†; Lee, S. B.; Kim, D.; Kim, S. W.; Kim, D.; Oh, W.; Hong, S.; Yoo, S. J. Solubility-Enhancing Hydrotrope Electrolyte with Tailor-Made Organic Redox-Active Species for Redox-Enhanced Electrochemical Capacitors. ACS Energy Lett. 2023, 8, 2345.(†Co-first author) 

  5. Byeon, J.; Kim, D.; Kyeong, M.; Bak, I. G.; Hong, S. Acetal-Functionalized Indacenodithiophene (IDT): Controlling the Position of a Lewis Acidic Dopant for Improved Thermoelectricity. Chem. Mater. 2023, 35, 2133. 

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